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深圳市志奮領科技有限公司

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解決方案 | 應用于半導體設備上的熱門傳感器(一)
發布時間:2022-07-26        瀏覽次數:535        返回列表
 半導體勻膠顯影機一般由動力系統、顯影液槽及噴液管、水洗槽、擠壓 (水)輥、涂膠槽等部分組成,適用于半導體、化工材料、硅片、晶片、基片、導電玻璃等工藝,制版的表面顯影。

本期小明就來分享一下傳感器在勻膠顯影機中的作用~

1.2

檢測水滴/膠滴

光纖傳感器  PG1+ PT-30ML

 

 

  • 選用區域對射光纖,覆蓋面積廣,即使水滴路徑有微小偏差依然在檢測區域內,可被穩定檢測
  • 功率大,光軸清晰明亮,可輕松調整光軸位置
  • 放大器搭載了超高速模式,微秒級響應時間,可穩定快速地進行檢測
  • SET按鍵調試,使用簡便輕松

 

 

2.2 

 

檢測晶片位置

激光傳感器  ELE-RM05N

 

 

  • 晶圓傳送盒的顏色和形狀變化所產生的光量值偏差很小,需要選擇回歸反射型傳感器可進行穩定的測量,安裝反光板,減少了布線煩惱
  • 光斑小,可將傳感器裝在外部,穿過孔洞對內部物料進行檢測,輕松實現識別晶片傾斜/缺料等位置不正的情況
  • 激光的指向性佳,光斑小,便于安裝

 

 

4.1 

 

控制憎水液位

液位傳感器  CE30-26NO

 

 

 

  • 當槽管內存在氣泡時,普通的光學傳感器很可能造成誤判
  • 產品防護等級IP67,防水防塵
  • 傳感器固定方式靈活,可任意輕松移動檢測位置

 

 

5.1 

 

匣盒載物臺的下限檢測

接近傳感器  ESL-T50NO

 

 

 

  • 超薄尺寸,厚度僅有4mm,任意狹小空間均可安裝
  • 采用對射檢測原理,穩定可靠
  • 檢測距離達50cm,任意大小的設備場景均可使用

 

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